
近日,元琛科技全資子公司安徽維納物聯(lián)低碳環(huán)境傳感技術(shù)研發(fā)中心(聯(lián)合中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院固體物理所共建)成功研制首款氫氣MEMS傳感器。該傳感器適用于常規(guī)氫氣泄露檢測場景,可用于加氫站、氫氣儲運及動力電池等的快速檢測與監(jiān)測,可進(jìn)一步綜合布點實現(xiàn)智能化監(jiān)控需求。
維納物聯(lián)將微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)引入到氣體傳感器的設(shè)計和開發(fā)過程中,研制成功的氫氣傳感器具有更高的靈敏度、穩(wěn)定性以及使用壽命,此外,該技術(shù)能有效避免其他氣體干擾,使檢測結(jié)果更加精準(zhǔn)有效。
維納物聯(lián)獨家掌握核心納米多孔敏感材料制備技術(shù),突破性地開發(fā)微納結(jié)構(gòu)薄膜制備新工藝,并與MEMS傳感器生產(chǎn)工藝整合。研制成功的氫氣傳感器響應(yīng)時間(T90)大幅度減少(小于5s),快速響應(yīng)能力強(qiáng)。